X熒光光譜儀根據各元素的特征X射線的強度，可以測定元素含量。

 

XRF工作原理是X射線光管發出的初級X射線激發樣品中的原子，產生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產生的特征熒光X射線波長（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。

 

X熒光光譜儀的優缺點介紹：

 

優點：

a) 分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素。

b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。

c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

e) 分析精密度高。含量測定已經達到ppm級別。

f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

 

缺點：

a） 定量分析需要標樣。

b）對輕元素的靈敏度要低一些。

c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。